yugo @Wiki

footing

2006-01-14T19:50:27+09:00

裾引き "However, development must be stopped at exactly the right moment to avoid footing or undercutting," Dammel said. "If the resist interacts with the bottom antireflective coating, you can get footing or t-topping and you won't have the perfectly straight sidewall on the resist that you need," Dembowski said. http://www.reed-electronics.com/semiconductor/article/CA6252216?text=laura+peters 「しかし、裾引きやアンダーカットを避けるため、ちょうど一番いい瞬間に現像を止めなければならない」とDammel氏は言う。「もしレジストがBARCと混ざれば、裾引きやT-トップ欠陥の問題が起き、レジスト上に直線の側壁は得られない」とDembowski氏は述べている。 http://www.sijapan.com/content/0511vol2/features/featurs_0511_1.html To this end the lithography patterning process is geared towards symmetry, particularly with regards to footing at the bottom of a line and equivalent 30 sidewalls. http://v3.espacenet.com/textdoc?DB=EPODOC&IDX=WO02070985&F=0

reference

2005-11-25T14:23:06+09:00

～を基準にした相対値 The three-dimensional orientation of a body &html() relative to a reference direction &html() is determined with increased accuracy by using a gyro-based azimuth and elevation measurement device which has at least four and preferably eight individual gyros. http://patft.uspto.gov/netacgi/nph-Parser?Sect1=PTO1&Sect2=HITOFF&d=PALL&p=1&u=/netahtml/srchnum.htm&r=1&f=G&l=50&s1=6718280.WKU.&OS=PN/6718280&RS=PN/6718280 # X軸とY軸を基準にして with reference to an X-axis and a Y-axis alc

description

2005-11-16T19:52:23+09:00

To correlate histochemically and biochemically determined enzyme activities, a description has been given of the application of histochemical methods on isolated fractions and sucrose-ficoll gradients of these fractions. >http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?cmd=Retrieve&db=PubMed&list_uids=186846&dopt=Abstract

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