真空計（Vacuum gauge）とは - SumMaring-8@Wiki

真空計（Vacuum gauge）とは

• 真空の圧力を測定するための装置。
• 大気圧以下の圧力を測定するための装置。

真空計の特徴

• 測定方法によって測定範囲が決まっている場合が多い。
• 単一の真空計で大気圧から高真空まで測定できるものは存在しない。
• 単一ヘッドで大気圧から高真空まで測定できる複合真空計（コンビネーションゲージ：Combination gauge）が市販されている。
  • 通常は、大気圧から中真空（0.1Pa）まで測定できる真空計とそれ以下を測定できるB-Aゲージとを組み合わせている。

真空計の分類

• 真空計の分類の仕方は測定方式によるものと測定対象によるものとに分けられる。

測定方式による分類

• ゲージ圧真空計
  • 大気圧との差を利用して測定（下記の差圧計の一種）。

• 差圧真空計
  • 圧力差を利用して測定。

• 絶対圧真空計
  • 物理量によって測定。

測定対象による分類

• 全圧真空計
  • 環境（チャンバ内：小さな部屋内）の圧直のみを測定。
  • 通常、真空計と言えば全圧真空計を指す。

• 分圧真空計
  • 環境（チャンバ内）の気体成分の分子量ごとに圧力を測定。
  • 別名、質量分析計（Mass Analyzer）や残留ガス分析計（RGA：Residual Gass Analyzer）ともいう。

全圧計の分類

• 全圧計は測定に利用する現象によって下記の3つに分類される。
  • 機械的な現象を利用するもの
  • 気体の熱輸送現象を利用するもの
  • 気体の電離現象を利用するもの

全圧計の種類

• 機械的現象
  • ブルドン管真空計
  • U字管マノメータ
  • マクラウド真空計
  • 隔膜真空計（ダイアフラム真空計）

• 気体の熱輸送現象
  • 熱電対真空計（サーモカップル真空計）
  • ピラニ真空計
  • コンベクトロン真空計

• 気体の電離現象
  • 冷陰極電離真空計（CCG：Cold Cathode Gauge）
    • ペニング真空計
    • 冷陰極マグネトロン真空計
    • ガイスラー管
  • 熱陰極電離真空計（HCG：Hot Cathode Gauge）
    • 三極管電離真空計
    • シュルツ真空計
    • ベアード・アルパード真空計（B-Aゲージ）

索引：Wikipedia 真空計