真空ポンプ.com - SumMaring-8@Wiki

真空ポンプ.com

１．真空のここが凄い！

２．真空の基礎知識

• 私たちの生活は真空を利用した製品に囲まれています。
  • 真空とは？：Whats Vacuum？
  • 真空状態とは？：Whats Vacuum Condition？

• 真空の意外な特徴
  • 酸素が減る
  • 音が聞こえなくなる
  • 電気を通さない
  • 熱が冷めない
  • 沸点が下がる

• これが真空技術！
  • 吸引
  • 吸着
  • ガス収集
  • 成形
  • 液体の充填
  • ガス置換
  • 酸化防止
  • 凍結真空乾燥
  • 蒸留
  • 濃縮
  • 脱気・脱泡
  • 真空蒸着
  • スパッタリング
  • 断熱
  • 冷却

３．真空ポンプの基礎知識

３－１．大気圧から極高真空まで（ＵＬＶＡＣグループの真空ポンプ）
３－２．真空ポンプ一覧

４．真空Ｑ＆Ａ

４－１．真空についてのＱ＆Ａ

• 真空状態における水の融点、沸点はどのように変化しますか？
• 真空中の熱伝導率はどうなりますか？
• 真空とはどのような状態ですか？
• 真空にすると沸点も融点も下がりますか？>

４－２．真空ポンプについてのＱ＆Ａ

• TMP排気時にN2とArで排気速度はどの程度変わりますか？
• ポンプやプロセスガスを予め熱しておく必要はありますか？
• 高温（200℃）の環境下で真空排気はできますか？
• 真空ポンプから排気音はしますか？若しくは消音対策はありますか？
• 本引きと粗引きでどう違うのでしょうか？

４－３．真空技術についてのＱ＆Ａ

• 空気蒸着で薄膜の品質を向上させる方法はありますか？