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電解研磨:electrolytic polishing

透過電子顕微鏡基本用語集

  • 金属、合金の薄膜試料作製に用いられる方法。
  • 適当な電解質溶液中に浸し、試料を陽極、白金板やステンレス鋼を陰極とし、直流電流を流すことにより、試料表面を溶出させ、試料表面を平滑に保ちながら薄膜化する。
  • 機械的な歪を与えずに試料作製できるのが利点。

関連用語

  • ジェット研磨
  • 化学研磨
  • イオンミリング
最終更新:2012年01月04日 04:33