真空ポンプ（Vacuum pump）概要 - SumMaring-8@Wiki

真空ポンプ（Vacuum pump）とは：

• 容器（チャンバー：chamber）内から気体を排出し、真空状態を得るために用いられるポンプをいう。
• 1650年にオットー・フォン・ゲーリケ（独）により発明された。
• 1台の真空ポンプで大気圧から超高真空（UHV：Ultra-high Vacuum）までの排気を行うことは困難であるため、通常は粗引きポンプとメインポンプとを組み合わせて使用する。

構成：

• 真空ポンプは、吸気口、ポンプ（本体）、排気口で構成される。

分類の仕方：

• 真空ポンプには様々な種類がある。
• 真空ポンプの選択は、要求される真空の度合いや排気する気体の成分などに応じて決定される。
• 真空ポンプの分類方法は、原理による分類、到達真空度による分類、潤滑油の使用・不使用による分類等がある。

• そのうち油回転型真空ポンプ（ロータリーポンプ）は、もっとも一般的に使用されている真空ポンプで、排気量、到達真空度、価格などの総合面で優れた性能を有する。
• また、ダイヤフラム式真空ポンプもかなり普及しており、炊飯器等の家電製品にも使用されている。

排気方法による分類：

• 排気方法による分類は下記の通り。

　１．気体輸送式真空ポンプ
　２．気体溜込式真空ポンプ（entrapment vacuum pump）

　また、気体輸送式真空ポンプは下記の様に分類される。
　１−１．容積移送式真空ポンプ（positive displacement vacuum pump）
　１−２．運動量輸送式真空ポンプ（kinetic vacuum pump）

作動圧力領域による分類：

• 1台の真空ポンプで大気圧から超高真空まで排気することは困難であるため、真空の度合いに応じて使い分ける必要がある。
• 超高真空まで排気できるポンプを主ポンプ（main pump）と呼び、主ポンプの排気口側に主ポンプの排気を補助する目的で設けられるポンプを補助ポンプ（backing vacuum pump）と呼ぶ。
• 補助ポンプは主ポンプが作動可能な領域まで排気を行う役割も果たすため、粗引きポンプ（roughing vacuum pump）と呼ばれることもある。
• また、大気圧から作動するポンプを低真空ポンプ（low vacuum pump）と呼び、高真空で作動するポンプを高真空ポンプ（high vacuum pump）と呼ぶ場合もある。

潤滑油を使用する、しないによる分類：

• 半導体メーカー等の精密電子部品工場では、ポンプの軸受等に潤滑油が使用される、されないによって歩留まりが大きく影響するほど高い真空度が要求される。
• そのため、ポンプの軸受等に潤滑油が使用される、されないは重要な問題になる。
• このことから、潤滑油を使用しないポンプのことをドライポンプ（dry pump）と呼び、潤滑油を使用するポンプのことをウェットポンプ（wet pump）と呼び分類している。